 | Energy dispersive Spectrometry (EDS)PHILIPS Energy dispersive Spectrometry (EDS) เป็นดีเทคเตอร์ตัวหนึ่งที่อยู่ในระบบของ SEM สำหรับใช้วิเคราะห์ธาตุต่าง ๆ ที่มีอยู่ในสารตัวอย่าง ซึ่งทำหน้าที่รับสัญญาณ X-Ray จากสารตัวอย่าง เช่น พื้นผิวของทองแดงในวงจรไฟฟ้า นิยมทำโดยวัดปริมาณรังสีเอ็กซ์ที่เกิดขึ้นจากธาตุที่ต้องการวิเคราะห์ในสารมาตรฐาน (อาจเป็น ธาตุบริสุทธิ์ หรือของผสมที่ทราบส่วนประกอบแน่นอน) เปรียบเทียบกับปริมาณที่เกิดขึ้นจากธาตุที่ต้องการวิเคราะห์ในสารตัวอย่าง |
