 | Scanning Electron Microscopy (SEM)ชื่อเครื่องมือ: กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (Scanning Electron Microscopy, SEM) บริษัท Philips รุ่น XL30 หลักการทำงาน: Scanning Electron Microscope (SEM) เป็นกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน การสร้างภาพทำได้โดยการตรวจวัดอิเล็กตรอนที่สะท้อนจากพื้นผิวหน้าของตัวอย่างที่ทำการสำรวจดังแสดงในรูปที่ 1 ซึ่งภาพที่ได้จากเครื่อง SEM นี้จะเป็นภาพลักษณะของ 3 มิติ จึงถูกนำมาใช้ในการศึกษาสัณฐานและรายละเอียดของลักษณะพื้นผิวของตัวอย่าง นิยมนำมาตรวจสอบลักษณะผิวภายนอกของตัวอย่าง ตรวจสอบการเรียงตัวของผลึกด้วยระบบการรับสัญญาณเลี้ยวเบนของอิเล็คตรอนกระเจิงกลับ ตรวจสอบการเปลี่ยนแปลงตัวอย่างจากการดึง โดย Energy Dispersive Spectrometry (EDS) เครื่องตรวจวัดรังสีเอ็กซ์ ใน SEM ทำให้สามารถทำการวิเคราะห์ธาตุต่างๆ ที่มีอยู่ในสารตัวอย่างได้เพิ่มเติม ประเภทตัวอย่าง : โลหะ เซรามิก พอลิเมอร์
รูปที่ 1 หลักการทำงานด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (Scanning Electron Microscopy: SEM) ลักษณะของผลที่ได้: ได้ภาพ 3 มิติจาก Secondary Electron (SE) หรือได้ภาพ 2 มิติจาก Back Scattered Electron (BSE) และธาตุต่างๆที่อยู่ในสารตัวอย่าง การประยุกต์ใช้งาน: นิยมนำมาตรวจสอบลักษณะผิวภายนอกของตัวอย่าง ตรวจสอบการเรียงตัวของผลึกด้วยระบบการรับสัญญาณเลี้ยวเบนของอิเล็คตรอน กระเจิงกลับ (Back Scattered Electron) ตรวจสอบการเปลี่ยนแปลง ตัวอย่างที่ผ่านการดึงมา หรือเกิดความเสียหายมา ลักษณะตัวอย่างที่ทำการทดสอบ: ปริมาณตัวอย่างที่ต้องเตรียมเพื่อทำการวิเคราะห์ หากเป็นแบบผง ใช้เพียงเล็กน้อยเท่านั้น หากเป็นของแข็ง ควรเตรียมมาโดยมีขนาดไม่เกิน 3 ลูกบากศก์เซนติเมตรแล้วแต่ภาชนะที่รองรับด้วย (มีขนาดเล็กจะดีกว่า เนื่องจากตัวอย่างจะสามารถถ่ายเทอิเล็กตรอนลงกราวด์ได้ดีกว่าป้องกันการ Charging effects) ถ้าชิ้นงานตัวอย่างไม่นำไฟฟ้าอาจต้องมีการเคลือบผิวตัวอย่างด้วยทองหรือคาร์บอน ติดต่อสอบถามเพื่อรับ บริการ วิเคราะห์ ทดสอบ วัสดุ และ สมบัติวัสดุ: ศูนย์นวัตกรรมวัสดุ ชั้น 3 อาคารชูชาติ กำภู คณะวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ 50 ถ.งามวงศ์วาน ลาดยาว จตุจักร กรุงเทพฯ 10900 |
